（1）整机：上海微电（张江高科参股10.78%）。
（2）光源系统：科益虹源、波长光电（平行光源系统）、福晶科技（准分子激光器晶体LBO/BBO）
（3）光学系统：国望光学、炬光科技（光场匀化器）、茂莱光学（DUV光学透镜）、腾景科技（合分束器）。
（4）双工件台系统：华卓精科、奥普光电（长春光机所技术转化平台，光栅尺用于工件台位移测量）。
（5）辅助系统：海立股份（冷却系统）、蓝英装备（清洗系统）、启尔机电（浸没系统）。
以上资料来源于网络，需要自己斟酌辨别真假，不能作为炒股依据。
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