上次将算力硬件材料的文章漏掉了一个很关键的角色:钼。
钼作为一种重要的难熔金属,在AI算力硬件的制造过程中,尤其是在先进半导体芯片的制造中,扮演着多个不可或缺的关键角色。
简单来说,钼及其合金是制造AI算力硬件(如GPU、AI加速芯片)的“高端工具”和“关键衬底”的重要组成部分。
以下是钼在AI算力硬件制造中的主要用途和具体环节:
1. 芯片制造的核心设备:高温加热器与部件
AI芯片是通过在硅晶圆上进行数千道工序制造出来的,其中许多步骤需要在极高的真空和高温环境下进行。钼的极高熔点(2623C)、优异的高温强度、低热膨胀系数和良好的抗腐蚀性,使其成为制造这些关键设备的理想材料。
离子注入机:这是将特定杂质原子注入硅晶圆以改变其电学性质的关键设备。该工艺需要在高温(通常500-800C)下进行“退火”以修复晶格损伤并激活杂质。这个过程使用的 “热盘”或加热器,很多都是由钼或钼合金制成的,因为它能承受反复的快速升温和降温而不变形或失效。
化学气相沉积:在芯片内部沉积各种薄膜(如氮化硅、多晶硅)时,反应室内的加热器、夹具和反射屏也常使用钼材料,以承受反应气体的高温腐蚀。
快速热退火设备:与离子注入后的退火类似,需要能在几秒内将晶圆加热到1000C以上的能力,钼加热器是关键部件。
可以把钼想象成高级工业烤箱的内胆和加热管,必须耐得住上千度的长期炙烤而不损坏。
2. 芯片三维结构的关键材料:栅极与互联导线
随着芯片制程进入纳米级(如5nm、3nm及以下),传统的材料(如纯铜、多晶硅)已接近物理极限。
钼因其独特的性质,在芯片的微观结构中找到了用武之地。
金属栅极:在先进的FinFET或GAA晶体管中,为了降低电阻和功耗,栅极材料从多晶硅转向金属。钼因其合适的功函数和热稳定性,被研究并用作金属栅极的组成部分,有助于精确控制晶体管的开关。
局部互连:在晶体管内部的微小尺度上连接不同元件时,需要非常细的导线。当导线尺寸缩小到一定程度时,铜的电阻会急剧上升(由于表面散射和晶界散射效应)。钼由于其较低的电阻率恶化效应,成为超窄互连线的候选材料之一,尤其是在中间层,有助于减少整体电路的延迟和功耗。
对于追求极致性能和能效的AI芯片来说,晶体管和内部连接的每一个微小改进,汇总起来都是巨大的算力提升和功耗降低。
3. 先进封装的核心衬底:热管理材料
这是钼在AI算力硬件中一个至关重要且日益突出的用途。AI芯片(如GPU)功耗极高,产生大量热量,散热是制约其性能发挥的瓶颈。
芯片封装基板:为了将芯片核心与外部电路连接并散热,需要使用封装基板。由于硅芯片和有机/陶瓷基板的热膨胀系数不匹配,在温度变化时会产生应力,可能导致芯片开裂或连接失效。
钼铜/钨铜复合材料:钼和铜(或钨和铜)可以复合制成一种材料,其热膨胀系数可以通过调整比例来精确匹配硅芯片。同时,它又具备铜的高导热性。这种材料被广泛用作热沉或芯片贴装片。
它既能有效地将芯片产生的热量传导出去,又能缓冲因热胀冷缩产生的应力,保护昂贵的芯片。在高功率的GPU和AI加速卡中,这种材料几乎是标配。
4. 未来技术探索:二维材料通道
在更前沿的研究中,科学家正在探索用二维材料(如:二硫化钼 MoS₂)替代硅来制造晶体管。
二硫化钼是一种半导体,当其厚度薄至原子级时,仍能保持较高的载流子迁移率和出色的开关特性,有望用于制造更小、更节能的未来晶体管。
虽然这项技术尚未大规模商用,但为后硅时代AI芯片的发展提供了一个可能的方向。
总而言之,钼虽然不是像硅或铜那样广为人知的电子材料,但它在AI算力硬件的制造、性能提升800和可靠性保障等多个层面,都是一种“幕后英雄”式的关键材料。
从制造芯片的“高温炉”,到芯片内部的“纳米线”,再到支撑芯片散热的“底座”,都离不开钼的卓越贡献。
本文作者可以追加内容哦 !