芯上微装的350nm步进光刻机（AST6200）和上海新阳存在产业链配套层面的相关关联，暂无直接的股权或合作研发关联 。

具体来看，上海新阳的核心业务包含半导体光刻胶等半导体功能性化学材料的研发，且已立项研发高分辨率光刻胶及配套材料，而光刻机的量产必然会带动光刻胶等配套材料的需求 。另有产业白皮书显示，上海新阳是350nm步进光刻机相关光刻胶、抗反射膜这类配套材料的国内核心供应方之一，对应配套占比达60%。随着AST6200逐步推向市场甚至量产，上海新阳有望凭借其光刻胶等材料业务进一步对接芯上微装的设备配套需求，形成产业链上下游的协同关系。