金融界2024年12月19日消息,国家知识产权局信息显示,江苏大摩半导体科技有限公司取得一项名为“一种半导体晶圆厚度检测用红外检测器”的专利,授权公告号CN 222166014 U,申请日期为2023年12月。专利摘要显示,本实用新型涉及红外检测器技术领域,且公开了一种半导体晶圆厚度检测用红外检测器,包括底板,底板顶部设置有放置盘,放置盘顶部一侧开设有若干个半导体晶圆放置槽,半导体晶圆放置槽内壁设置有拿取槽,底板顶部一侧固定有支撑架,支撑架底部安装有红外测厚仪,放置盘一侧设置有限位组件,限位组件一侧设置有夹持组件,转动拨动板,使得新放入晶圆一侧的拨动板从第二指示板转动至第一指示板,在此时红外测厚仪对下一个晶圆进行检测厚度,将检测过厚度的晶圆在第一指示板一侧取出,在放入新的晶圆即可,此时可以通过一个工人即可不间断的对晶圆厚度进行检测,工作人员可以连续进行晶圆的更换和检测,而无需频繁停机和等待。
2025-12-05 19:55:58
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