$力量钻石(
力量钻石的新材料已应用于芯片半导体领域,覆盖加工耗材、散热、基材与光学窗口等场景,且已有量产与客户验证。
核心应用
- 芯片加工耗材:八面体金刚石(国内市占约90%)用于晶圆CMP,精度达2nm,服务中芯国际、长江存储;金刚石微粉用于第三代半导体切磨,市占约15%。
- 芯片散热:CVD金刚石散热片2025年1月投产,年产能50万片,通过英伟达测试(GPU性能+3倍、温度-60%),进入小批量交付。
- 半导体基材与光学:HPHT半导体金刚石实现P型掺杂,2025年进入中电科55所供应链;高纯度单晶切片用于EUV光刻机窗口,2024年间接供货ASML。
技术与进展
- 技术路线:HPHT与CVD双技术平台,支撑材料量产与性能优化。
- 量产与验证:散热片、CMP耗材已稳定供货;基材与光学窗口处于客户导入或测试阶段。
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