$国机重装(SH601399)$  $蓝色光标(SZ300058)$  

$安集科技(SH688019)$  华辰装备在光刻机领域的布局，核心是通过与国家级科研机构合作，切入光刻机核心部件的高端制造环节，目前已有实质性进展。

核心合作与业务方向

华辰装备与中国科学院长春光学精密机械与物理研究所（长光所） 的下属公司成立了合资公司“长光华辰”。长光所是国内光刻机研发的“国家队”，这次合作使华辰装备深度绑定了国内光刻机研发的头部力量。

合资公司主要聚焦两大块业务：一是研发和销售用于加工光刻机光学元件的超精密磨床；二是直接承接光学元件等超精密零部件的磨削加工服务。这意味着华辰装备不仅仅是卖设备，还参与到光刻机核心部件（如大口径光学镜头）的前道制造环节。

技术实力与最新进展

华辰装备能在光刻机领域有所作为，靠的是其超精密磨削技术的深厚积累。光刻机光学系统对镜片的面型精度要求极高，需要达到纳米级别的加工精度。华辰装备在其新产品“超精密曲面磨床”上，已能实现0.001mm/500的高精度，专门用于加工平面、球面、非球面等光学元件，满足了半导体关键装备的制造需求。

业务进展方面，公司在2025年8月成功中标了长光所的亚微米磨床项目，这成为其技术实力获得核心客户验证的一个重要标志。