玻璃基板的普及,靶材会显著增加,用量约为ABF的3–5倍;核心是超高纯铜、钛/钽、钼、银合金四类靶材。 一、为什么靶材需求大增 - ABF载板:主要是压合铜箔+蚀刻,靶材用量少、仅用于表层/少量RDL- 玻璃基板:必须TGV通孔+多层RDL,全流程依赖PVD溅射镀膜- 玻璃通孔(TGV):侧壁要镀阻挡层+种子层- 重布线层(RDL):多层精细线路,层数/密度远超ABF- 行业测算:单位面积靶材用量是ABF的3–5倍 二、玻璃基板必用的4类靶材 1.铜靶(Cu)- 主导体:RDL布线、TGV种子层- 要求:超高纯(5N–6N)、大尺寸、高致密2.阻挡/粘附层(关键增量)- 钛靶(Ti):最常用,粘附+阻挡铜扩散- 钽靶(Ta):高端/高温场景,阻挡性更强- 铬靶(Cr):部分玻璃专用粘附层3.钼及钼合金靶(Mo/MoNb)- 玻璃基刚需:高热稳、低应力、匹配玻璃CTE- 用于:底部电极、屏蔽层、TGV阻挡层4.银合金靶(Ag)- AI/高速芯片:超低阻、高频低损耗(优于铜)- 苹果AI服务器(Bottra)、HBM/CPO重点增量 三、苹果转向的直接影响 - 苹果AI芯片(Bottra)+ 台积电/三星跟进 → 玻璃基板放量- 供应链:钼靶、钛靶、铜靶、银合金靶率先爆发- 国内龙头:隆华科技(钼靶龙头)、江丰电子、阿石创等最受益
追加内容
本文作者可以追加内容哦 !