$芯源微(SH688037)$  

为了更全面地覆盖A股市场中相关的上市公司，以下将从产业链的核心环节展开，为你补充更多相关个股。

光刻机整机与核心零部件（光学、光源、工件台等）

光刻机整机设计与制造难度极高，核心零部件是目前国产化的焦点。

细分领域 股票 (代码) 核心业务 / 关键看点

整机集成 张江高科(600895) A股唯一直接参股上海微电子(国内唯一量产光刻机整机厂商)的公司，持股比例约10.779%，是国产光刻机生态核心平台。

 上海微电子(未上市) 国内光刻机整机龙头，已实现90nm量产，是产业链核心。

 罡景光学(未上市) 核心产品含光刻机镜头，计划2026年上半年推出首款光刻机整机。

光学元件/系统 茂莱光学(688502) 国内唯一量产DUV光刻机投影物镜镜片组的企业，深度绑定上海微电子，部分产品进入ASML供应链。

 永新光学(603297) 为光刻机提供光学定位、测量系统等核心部件。

 腾景科技(688195) 精密光学元件供应商，2026年4月股价创历史新高。

 蓝特光学(688127) 2025年营收同比增长48.6%，归母净利润同比大涨76.0%，是光学领域的"绩优股"。

 中润光学(688307) 2025年收购戴斯光电，强化精密光学元件布局，在光刻机光学领域有所涉猎。

 沃格光电(603773) 子公司玻璃光学器件在光刻机领域有多个项目，部分已小批量交付。

光源系统 福晶科技(002222) 全球领先的非线性光学晶体供应商，是光刻机光源系统的核心部件供应商。

 波长光电(301421) 聚焦于成熟制程的平行光源系统，2025年前三季度半导体业务收入同比增长85%。

 炬光科技(688167) 主营光子行业上游的高功率半导体激光器，提供光刻机照明系统核心部件。

工件台 华卓精科(未上市) 国内双工件台系统打破ASML垄断，是光刻机核心子系统的重要突破。

真空/气体系统 新莱应材(300260) 产品直供光刻机设备，覆盖半导体真空与气体系统，供应链地位突出。

掩模版 路维光电(688401) 国内掩膜版行业龙头，具备G2.5-G11全世代平板显示掩膜版量产能力。子公司40nm产品试生产顺利。

 龙图光罩(688721) 半导体掩模版企业，拟募资14.6亿元建设40nm—28nm掩模版生产线。

电子特气 华特气体(688268) 光刻气龙头，产品获ASML子公司Cymer认证，间接配套光芯片光刻环节。

 中船特气(688146) 光刻气产品获日本Gigaphoton合格供应商认证，打入国际主流光源供应链。

 昊华科技(600378) 电子特气产品线丰富，覆盖三氟化氮、六氟化钨等。

涂胶显影 芯源微(688037) 国内涂胶显影设备龙头，产品广泛应用于光刻工序。

 阿为特(920693) 公司确认涉及光刻机配套零部件供应。

光刻胶：产业链核心耗材

细分领域 股票 (代码) 核心业务 / 关键看点

光刻胶龙头 彤程新材(603650) 国内半导体光刻胶龙头，ArF光刻胶营收增长超800%，正冲刺A+H上市。

 南大光电(300346) 国内唯一ArF光刻胶量产企业，启动5000吨/年产能扩建。

 上海新阳(300236) KrF/ArF光刻胶全品类覆盖，2025年销量突破800吨。

 华懋科技(603306) 通过子公司持有瑞红苏州股权，后者拥有全系列波长光刻胶研发平台。

 晶瑞电材(300655) i线光刻胶量产，KrF完成中试，是国内最早量产光刻胶企业之一。

光刻胶相关 鼎龙股份(300054) 300吨/年高端晶圆光刻胶产线投产，3款产品进入稳定批量供应。

 雅克科技(002409) 半导体前驱体+面板光刻胶，2025年光刻胶营收占比升至27%。

 容大感光(300576) PCB湿膜光刻胶龙头，高端感光干膜产线预计2026年下半年试生产。

 安集科技(688019) 光刻胶去除剂等配套材料供应商。

 飞凯材料(300398) 光刻胶及相关材料供应商，2025年业绩预告表现亮眼。

 广信材料(300537) PCB光刻胶、显示光刻胶供应商。

 强力新材(300429) 光刻胶专用化学品（光引发剂等）供应商。

先进封装/直写光刻设备

芯碁微装(688630)是全球最大的PCB直接成像设备供应商，同时提供半导体直写光刻设备。。芯源微(688037)的光刻工序涂胶显影设备在先进封装领域有广泛应用。

以上内容基于公开信息整理，不构成任何投资建议，股市有风险，决策需谨慎。