$炬光科技(SH688167)$  

炬光科技的微透镜阵列(MLA)技术在国内属于绝对第一梯队,在全球范围也具备顶尖竞争力,核心优势在于高精度晶圆级制造、全工艺平台、高端客户认证与一体化集成能力。

一、核心技术壁垒(全球领先)

1. 顶级制造工艺(精度碾压)

• 光刻 - 反应离子蚀刻(RIE)(并购瑞士 SUSS MicroOptics 获得)

轮廓精度:RMS < 10nm(纳米级)

阵列间距精度:Pitch < 0.3μm

对齐精度:双面微透镜 < 3μm

通道公差:96通道 ±1μm

• 晶圆级同步结构化技术(全球独有)

可在 12英寸 大片晶圆(玻璃/硅/石英)上加工

适用任何无机材料(氟化钙、锗、硒化锌等)

大批量、低成本、高一致性

2. 全工艺技术平台(国内唯一)

掌握五大微纳光学制造技术,形成“一站式”能力:

• 光刻 - 蚀刻(RIE)

• 晶圆级同步结构化

• 晶圆级光学压印(WLO)

• 精密模压

• 超精密冷加工

3. 材料与结构能力

• 材料:硅、熔融石英、玻璃、锗等

• 结构:

单面/双面非球面/柱面微透镜

背面集成 45微棱镜(一体化设计)

N×N大阵列(数百通道)、1×N阵列

二、产品与性能优势

1. 一体化集成(全球首创)

• 一体化微棱镜透镜阵列

单片替代6个传统零件

耦合效率+30%,成本-25%

用于 CPO(共封装光学) 光引擎

2. 超高密度集成

• 96+通道V型槽+微透镜阵列

光纤密度达 1152芯/模块

适配 1.6T/3.2T 超高速光模块

3. 高一致性与良率

• 批量良率 >95%

• 尺寸公差:硅 ±15μm,石英 ±25μm

三、核心应用与客户(高端卡位)

1. 光通信(AI算力核心)

• CPO共封装光学:供应英伟达供应链、国内光模块厂(中际旭创、天孚)

• OCS全光交换:N×N大阵列透镜,谷歌认证,小批量出货

• 800G/1.6T光模块:快慢轴一体化透镜

2. 激光雷达(车载)

• 禾赛、速腾等核心供应商

• 准直、匀化、接收光学阵列

3. 泛半导体(光刻机)

• 光场匀化器(MLA核心)

• 供货 ASML 等设备商

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