炬光科技的微透镜阵列(MLA)技术在国内属于绝对第一梯队,在全球范围也具备顶尖竞争力,核心优势在于高精度晶圆级制造、全工艺平台、高端客户认证与一体化集成能力。
一、核心技术壁垒(全球领先)
1. 顶级制造工艺(精度碾压)
• 光刻 - 反应离子蚀刻(RIE)(并购瑞士 SUSS MicroOptics 获得)
轮廓精度:RMS < 10nm(纳米级)
阵列间距精度:Pitch < 0.3μm
对齐精度:双面微透镜 < 3μm
通道公差:96通道 ±1μm
• 晶圆级同步结构化技术(全球独有)
可在 12英寸 大片晶圆(玻璃/硅/石英)上加工
适用任何无机材料(氟化钙、锗、硒化锌等)
大批量、低成本、高一致性
2. 全工艺技术平台(国内唯一)
掌握五大微纳光学制造技术,形成“一站式”能力:
• 光刻 - 蚀刻(RIE)
• 晶圆级同步结构化
• 晶圆级光学压印(WLO)
• 精密模压
• 超精密冷加工
3. 材料与结构能力
• 材料:硅、熔融石英、玻璃、锗等
• 结构:
单面/双面非球面/柱面微透镜
背面集成 45微棱镜(一体化设计)
N×N大阵列(数百通道)、1×N阵列
二、产品与性能优势
1. 一体化集成(全球首创)
• 一体化微棱镜透镜阵列
单片替代6个传统零件
耦合效率+30%,成本-25%
用于 CPO(共封装光学) 光引擎
2. 超高密度集成
• 96+通道V型槽+微透镜阵列
光纤密度达 1152芯/模块
适配 1.6T/3.2T 超高速光模块
3. 高一致性与良率
• 批量良率 >95%
• 尺寸公差:硅 ±15μm,石英 ±25μm
三、核心应用与客户(高端卡位)
1. 光通信(AI算力核心)
• CPO共封装光学:供应英伟达供应链、国内光模块厂(中际旭创、天孚)
• OCS全光交换:N×N大阵列透镜,谷歌认证,小批量出货
• 800G/1.6T光模块:快慢轴一体化透镜
2. 激光雷达(车载)
• 禾赛、速腾等核心供应商
• 准直、匀化、接收光学阵列
3. 泛半导体(光刻机)
• 光场匀化器(MLA核心)
• 供货 ASML 等设备商
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