飞凯材料半导体业务的核心产品之一,叫 KrF-BARC(底部抗反射涂层)。
基本情况
• 产品名:底部抗反射涂层(BARC / Barc)
• 对应波段:KrF(248nm),用于 90nm–28nm 成熟制程
• 地位:国内唯一实现量产的国产BARC,打破日本/信越/杜邦垄断
• 性能:反射率 <1%,良率 >98%,已通过 12寸产线验证
用途
• 涂在硅片与光刻胶之间,消除反射光干扰,提升线宽精度与良率
• 配套自家 KrF光刻胶 一起卖,进入中芯国际等前道产线
对飞凯的意义
• 半导体材料增长极:光刻胶 + BARC 配套出货,单价与毛利都高
• 国产替代硬标的:前道关键材料,AI芯片/先进封装都要用
一句话:飞凯材料有BARC,而且是国内独苗、已经量产供货。
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