结论:日本没有官宣“全面禁售”,但对高端光刻胶(ArF/EUV)已实施严厉出口管制,企业层面实质断供;中低端(i线/G线)仍可申请但审批趋严。
一、官方政策(2025.11起)
- 2025.11.01:日本经产省将ArF(28–7nm)、EUV(7nm以下)光刻胶纳入出口管制清单,实施逐案审批。
- 审批周期:由30天延至90天;对华配额累计削减20%–30%。
- 2025.12.30:加码KrF/i线审批至90天;110家中国半导体企业(含中芯、长江存储)列入重点核查,需提交用途追溯报告。
- 官方口径:2025.12.03内阁官房长官辟谣“全面断供”,称仅精准管控高端,中低端正常申请。
二、企业执行(实质停供)
- 信越、JSR、东京应化(TOK):2025年底起停接KrF/ArF新单;EUV审批通过率≈0,实质断供。
- 既有订单:交期延至4–8个月,部分中止;技术服务团队撤离。
- 2026年1–2月:中国海关自日本进口高端光刻胶报关量为0。
三、管控分层(截至2026.4)
- 高端(ArF/EUV):政策严控+企业停供=实质断供。
- 中端(KrF):审批极严,新单基本不接,存量缓慢交付。
- 低端(i线/G线):可申请,审批慢、配额减,未断供。
四、影响
- 先进制程(≤28nm)光刻胶库存仅够1–2个月,先进产能受限。
- 成熟制程(≥28nm)依赖中低端胶,库存3–6个月,压力可控。
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