本报讯，中科仪（920186）已于4月29日登陆北交所。资料显示，中科仪发行价格为16.21元/股，此前IPO打新结果显示，公司本轮IPO打新冻资9882.99亿元，获配比例0.038%。
中科仪是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司产品主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。
作为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业，公司是“02专项”重点支持的集成电路零部件研制单位之一，并先后13次承担“04专项”“863计划”“国家重点研发计划”等国家级重大科研专项/课题；截至2025年6月30日，公司拥有发明专利100项，负责或作为主要参与方起草了13项真空技术相关的国家、行业及团体标准；2022年，公司承担攻关任务，研发应用于先进制程苛刻工艺的干式真空泵；“面向集成电路制造领域的无油干式真空泵研发与产业化”项目，获辽宁省2023年科技进步一等奖。
公司罗茨干泵产品
一、半导体设备国产化带动真空泵需求增长
完整的半导体生产系统主要由工艺腔室、装载系统、晶圆传送系统、气体输送系统、设备冷却系统、设备加热系统、控制管理系统、真空系统等构成。其中，真空系统主要由真空泵、真空阀、真空表计与真空管道等组成，分别用于真空获得、真空检漏、真空测量。真空泵是半导体制造真空系统的核心关键部件，集成电路产业15个主要工艺环节中的11个需要使用真空泵实现真空环境的获得，占比超过70%。
资料来源：招股说明书
1.半导体真空泵市场增长快速
世界半导体贸易统计组织WSTS在2025年12月发布的最新秋季预测显示，2025全球半导体市场规模估计上调至7720亿美元，同比增幅扩大至22%；2026年更将逼近1万亿美元大关，达到9750亿美元，实现25%以上的同比增长。2025年逻辑芯片预计增长37%，存储器销售有望增长28%，到2026年这两个类目的同比增幅更将双双超过三成。半导体产业的繁荣意味着更多的芯片制造需求，而半导体真空泵作为芯片制造过程中的关键设备，其市场需求自然水涨船高。
聚焦中国半导体设备市场，我国半导体设备行业在下游快速发展的推动下，保持强劲增长态势。2017-2022年市场规模年复合增长率为28%，增速明显高于全球；2022-2024年增速回升至30%以上，2023年中国半导体设备销售额达366亿美元，同比增长29.47%。
具体到半导体真空泵市场本身，据测算，2024-2025年，全球半导体真空泵市场规模有望达到196/216亿元，其中2024年新增需求约45亿元，存量更新需求约151亿元；2025年新增需求约56亿元，存量更新需求约160亿元。另据汉钟精机（002158）财报显示，2023年中国大陆与中国台湾半导体真空泵市场规模为79亿元。另有报告显示，2025年中国半导体真空泵市场规模预计突破150亿元人民币，较2020年的65亿元实现年均复合增长率（CAGR）18.5%，至2030年市场规模有望攀升至300亿元以上。
2.国产替代加速
在行业发展初期，全球半导体真空泵市场被欧美以及日本企业牢牢占据主导地位。瑞典阿特拉斯·科普柯集团（Atlas）、德国普发集团（PFEIFFER VACUUM）、日本岛津制作所（Shimadzu）、日本株式会社大坂真空机器制作所（Osaka Vacuum）等知名企业，凭借其先进的技术和长期的市场积累，构建了极高的技术壁垒和市场壁垒。瑞典Atlas在2016年更是通过收购德国莱宝（Leybold）和英国爱德华（Edwards），进一步巩固了其全球最大半导体真空泵供应商的地位。这种市场格局使得我国半导体产业在真空泵领域长期依赖进口。
根据《中国通用机械工业年鉴2021》，日本半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上也用干式真空泵代替了油封式机械泵。然而，我国国产干泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干泵极其依赖进口，且价格昂贵。同时，国内市场超过90%的半导体真空设备都依赖进口，前道工艺过程光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工艺设备几乎被国外产品垄断，真空设备行业亟需突破技术瓶颈。根据华经情报网测算，从市场空间来看，2022年全球半导体用干式真空泵市场将达196.4亿元，同比增长9.3%。
不过，近年来我国半导体设备国产化率呈现出上升的趋势。2020年我国半导体设备市场规模为187.2亿美元，到2023年达到366.0亿美元；我国2020年集成电路设备国产厂商销售额为96.77亿元人民币，对应2023年约为450亿元人民币，按此估算我国半导体设备国产化率从2020年的7.39%上升至2023年的17.6%。在自主可控的大趋势下，我国头部半导体设备厂商持续进行技术迭代，推动了半导体设备国产化水平的加速提升。
中科仪已成为我国半导体真空泵主要生产商之一。公司销售的干式真空泵主要为罗茨干泵。公司研制的罗茨干泵分为三大系列：L系列主要面向半导体清洁工艺流程，如装载、传输；M系列主要面向半导体中等工艺流程，如刻蚀、离子注入等；H系列主要面向半导体苛刻工艺流程，如薄膜沉积等，也可应用于光伏等泛半导体领域的工艺流程，如管式PECVD等。公司研制的三大系列近四十款型号干式真空泵产品已实现大批量应用，可适配ASML、KLA、LAMResearch、AMAT、TEL、HITACHI等30余家国内外主流设备厂商的数百种机台，全面满足市场多样化需求。截至目前，公司在研的干式真空泵型号超过40项。
二、光伏开辟增量空间
真空泵是是晶圆和光伏电池生产过程中形成真空环境的必备部件，其应用贯穿光伏产业链的硅片、电池片和组件多个重要的生产环节。
尽管面临短期扩产放缓的调整压力，但在中国光伏产业全球主导地位稳固、存量更新需求释放及政策支持加强的背景下，行业仍存在结构性机遇，并为产业链相关环节带来新增长空间。截至2024年底，全球硅片总产能约为1394.9GW，同比增长43.2%，产量约为803.0GW，同比增长17.8%。我国大陆硅片产能约1348.9GW，同比增长41.5%；产量约775.7GW，同比增长16.1%，占全球硅片产量的96.6%，在全球硅片领域占据绝对主导地位。中国占据全球光伏电池出口量的92%，技术优势（如N电池）和规模化生产形成护城河。
尽管当前光伏行业扩产节奏整体放缓，光伏真空泵的下游需求短期承压，但存量设备更新改造需求逐步释放以及反内卷政策支持力度加大，为真空泵需求的稳定提供了新的保障。在光伏产业长期发展过程中，早期投入使用的真空泵设备会逐渐老化，需要进行更新改造。随着存量设备更新改造需求的逐步释放，将为真空泵市场带来新的需求空间。同时，反内卷政策支持力度加大，有助于规范光伏市场秩序，优化行业供需结构。在更加健康有序的市场环境下，光伏企业能够更好地规划生产和投资，保障生产的稳定性和持续性，进而稳定对真空泵的需求。
三、公司情况
1.业绩情况
2022-2025年，公司营收从6.98亿元增长至12.91亿元，CAGR为22.75%。
2022-2025年，公司归母净利润分别为49787.87万元、60037.06万元和19276.54万元和84386.54万元，CAGR为19.23%。
从营收结构来看，干式真空泵是公司营收的主要来源。根据公司招股说明书，近三年公司干式真空泵销售收入复合增长率达32.16%，实现快速增长。
资料来源：招股说明书
2.行业地位与技术优势
公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，有效保障了我国集成电路制造设备关键部件的自主可控和供应链安全。
干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断：干式真空泵产品满足14nm先进逻辑芯片以及128层及以上3D NAND等存储器工艺的生产需要，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。除硅基半导体外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。
资料来源：招股说明书
真空科学仪器设备领域，公司先后承担北京正负电子对撞机、兰州重离子加速器、合肥国家同步辐射装置、上海三代光源、北京高能同步辐射光源、上海硬X射线自由电子激光装置等11项国家重大科技基础设施的建设工作，是我国大科学装置关键真空部件光束线、波荡器、前端区等的最主要研制单位，其中公司作为上海光源主要参与者，于2013年获得国家科技进步一等奖。另外，公司前身成功研制了第一台国产分子束外延设备（MBE），打破国外长期禁运，在科研用MBE设备研制领域居于国内领先地位。
3.客户资源
截至目前，公司各类干式真空泵的出货量已累计超过4万台，其中集成电路领域出货量超3万台。根据市场预计数据测算，2024年公司干式真空泵在集成电路领域国内市占率约为12.72%，打破欧美及日本企业在国内市场的长期垄断。公司产品已批量进入中芯国际、长江存储等国内一线晶圆厂，并通过台积电、英特尔等国际大厂验证，实现小批量供货；在碳化硅、砷化镓等化合物半导体领域完成规模化交付。
三、同行业对比
同行业上市公司方面，选取拓荆科技（688072）、华海清科（688120）、北方华创（002371）、中微公司（688012）、芯源微（688037）、京仪装备（688652）为可比公司。
本次IPO拟募集8.25亿元用于干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备扩产及研发中心建设项目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目。其中，干式真空泵产业化建设项目建成后，将形成年产20,040台干式真空泵的生产能力。
资料来源：招股说明书
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