联手有研新材旗下有研亿金…大规格稀有/希贵金属靶材重大突破……
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“大规格稀有/稀贵金属靶材制造技术”项目由有研亿金牵头承担,成员单位包括贵研铂业股份有限公司、中南大学等国内超高纯稀有稀贵金属基础理论研究及高端半导体靶材开发与制造领域10家优势单位,形成“基础前沿-共性关键技术-应用示范”协同创新团队。项目面向我国高端半导体产业快速发展对国产高品质、大规格稀有稀贵金属溅射靶材的迫切需求,发展了稀有稀贵金属靶材综合性能的协同调控理论,开发出7种达到国际先进水平的大规格超高纯稀有稀贵金属靶材及其制造技术,并建成三条产业化示范线,产品批量供货于国内外一流半导体厂商,实现了半导体用关键核心材料国产化,有力支撑了我国电子信息行业安全、快速发展。
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