靶材的制备工艺主要涉及金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用四大环节,其中靶材制造是技术壁垒最高的环节。2 目前主流的靶材制造工艺主要有熔炼铸造法和粉末冶金法两种,不同工艺各有优劣,适用于不同的金属材料。
以下是靶材制造工艺的详细对比以及相关上市公司的江湖地位梳理:
一、 靶材制造的两大核心工艺
靶材制造环节是将高纯金属通过加工形成溅射靶材,对生产设备及技术工艺要求极高,其工序精细且繁多,直接决定了溅射薄膜的质量和良品率。
1. 熔炼铸造法
工艺流程:将一定成分配比的合金原料熔炼,再将合金熔液浇注于模具中形成铸锭,最后经机械加工制成靶材。常用方法包括真空感应熔炼、真空电弧熔炼等。
优点:靶材杂质含量(特别是气体杂质含量)低,密度高,可大型化。
缺点:对熔点和密度相差较大的两种或以上金属,普通熔炼法难以获得成分均匀的合金靶材。
适用材料:主要适用于 Al、Cu、Ti 等金属靶材的制备。
2. 粉末冶金法
工艺流程:将一定成分配比的原料粉末经等静压成型,再经过高温烧结,最后经机械加工形成靶材。常用方法包括冷压-烧结、真空热压和热等静压等。
优点:晶粒细小、靶材成分较为均匀、机械性能好、生产效率高、节约原材料成本。
缺点:密度低,杂质含量高(含氧量高)。
适用材料:特别适用于难熔金属(如 Ta、W、Mo)、陶瓷及复杂合金(如 ITO、TiAl)靶材的制备。
二、 相关个股江湖地位梳理
全球靶材市场集中度极高,长期被美日巨头垄断,但国内少数头部厂商已突破技术门槛,在细分领域确立了领先地位。
1. 全球竞争格局(国际巨头)
第一梯队(垄断全球约80%份额):日矿金属(JX,日本)、霍尼韦尔(美国)、东曹(日本) 和普莱克斯(美国)。这四家企业产业链完整,主导着全球中高端半导体溅射靶材的技术和产业发展。
2. 国内竞争格局(国产替代先锋)
江丰电子(国内高纯溅射靶材龙头)
江湖地位:国内高纯溅射靶材的龙头企业,业务遍布全球。
核心优势:产品涵盖铝靶、钽靶、钛靶等,已打入台积电、中芯国际、京东方等全球知名厂商供应链。2021年海外营收占比过半(56.6%)。2 在半导体用铝靶、钛靶、钽靶方面优势明显,是国内国产化铝靶材的龙头。
有研新材(子公司有研亿金)
江湖地位:国内半导体靶材龙头,具备从超高纯原材料到溅射靶材垂直一体化的能力。
核心优势:主攻半导体用铜靶、钴靶及高纯铜原料,12英寸高端靶材产品已通过多家集成电路高端客户验证并批量供货,大尺寸靶材(8-12英寸)占比高。
隆华科技(子公司丰联科光电)
江湖地位:显示面板靶材细分龙头,率先打破高端靶材海外垄断。
核心优势:在钼靶材和ITO靶材领域实力强劲。子公司四丰电子占据国内钼靶材市场60%以上的份额;晶联光电是国内少数能量产并供货ITO靶材的厂商之一。22 产品已进入京东方、TCL华星、三星等供应链。
阿石创
江湖地位:国内PVD镀膜材料领域的龙头企业之一,产品多元化。
核心优势:产品覆盖ITO、钼、铜、铝、硅、钛、钽等多种靶材,下游覆盖光学、光伏、半导体、平板显示等多个领域,客户包括京东方、华星光电、舜宇光学等。在ITO靶材和宽幅钼靶方面有布局。
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