沃格光电全玻璃堆叠封装(玻璃基多层堆叠互联)中,不同玻璃层之间主要用玻璃本身的氧化层+BCB(苯并环丁烯)有机绝缘胶实现绝缘,部分高端方案也会采用等离子体沉积氧化硅(SiO₂)薄膜绝缘,具体方案如下:
1. 主流量产方案:BCB有机绝缘胶
这是当前沃格光电TGV全玻璃堆叠工艺采用的主流方案:
加工方式:在完成TGV通孔加工的玻璃层表面,旋涂一层均匀的BCB绝缘胶,经热固化后形成致密绝缘层,厚度可精准控制在5-20μm之间
核心优势:BCB本身具备低介电常数、低介电损耗的特性,完美适配高频高速信号传输,同时固化收缩率低、粘附性好,能和玻璃紧密结合,工艺兼容性强,适合量产
应用场景:用于AI芯片玻璃载板、CPO玻璃中介层的多层堆叠绝缘,适配大多数先进封装需求
2. 超薄高密度方案:沉积氧化硅(SiO₂)绝缘薄膜
针对更高密度堆叠需求,沃格光电会采用无机绝缘方案:
加工方式:通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺,在玻璃表面沉积一层厚度仅数百纳米到数微米的SiO₂绝缘薄膜
核心优势:绝缘层厚度极薄,能实现更高的堆叠密度,同时热稳定性和绝缘性能优于有机胶,适合更高功率的芯片封装场景
缺点:工艺成本更高,沉积速度慢,目前仅用于细分高端场景
3. 特殊场景:玻璃本征氧化层
玻璃本身主要成分为二氧化硅,新切割的玻璃表面会自然生成一层厚度约1-2nm的致密氧化层,本身具备绝缘性,但天然氧化层太薄、容易存在缺陷,仅能作为辅助绝缘,无法单独满足多层堆叠的绝缘可靠性要求,必须搭配上述两种绝缘方案使用。
整体工艺逻辑是:玻璃做基底骨架→加工TGV通孔→玻璃表面做绝缘处理→金属化做线路→多层堆叠键合,绝缘层是保障多层线路不短路、信号稳定传输的关键环节。

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