$至纯科技(SH603690)$  一、S300D设备是否覆盖14纳米制程？

是的，至纯科技S300D设备已覆盖14纳米制程。  

公司S300-D湿法设备平台专为先进制程设计，覆盖SPM、背面蚀刻、预清洗等关键工艺，处理效率较上一代提升30%，并已获得中芯国际、长江存储等头部客户订单[8][20][24]。公司研发聚焦14nm/7nm先进制程，核心技术全自主可控[8]。

二、S300D设备能带来多少增量订单？

目前无直接量化数据，但可基于整体目标进行合理推断。  

公司2026年新增订单目标为45亿至55亿元，其中制程设备订单目标为8亿至12亿元[2][3][5]。S300D作为核心高阶清洗设备，是制程设备订单的主要构成部分，但公司未单独披露其订单占比。

结合以下信息可作合理推测：

- S300D是公司2024年推出的新平台，专为14nm及以下制程设计，是“推动高阶清洗设备批量放量”的核心产品[2][3][8]；

- 公司2026年一季度新增订单19.77亿元，其中94.4%来自集成电路领域，制程设备是核心增长引擎[9]；

- 公司是国内唯一实现28nm全工艺覆盖的湿法设备供应商，S300D在SPM等关键工艺领域已实现国产替代[8][24]。

合理推断：在8亿至12亿元的制程设备订单目标中，S300D设备预计贡献主要部分，但具体比例需待公司后续披露。

三、订单增长是否已显现？

是的，订单增长已显著显现。  

- 2025年全年新增订单25.34亿元（近年低位）[17]；  

- 2026年一季度新增订单达19.77亿元，已达全年目标的40%，开门红奠定高增基础[9][16]。  

这表明公司高阶设备（含S300D）的订单转化正在加速，规模化交付趋势明确。

四、总结：S300D设备的增量订单预期

 项目 数据/结论 

技术覆盖 已覆盖14纳米制程，支持SPM、背面蚀刻等关键工艺[8][20] 

 2026年制程设备订单目标 8亿至12亿元[2][3][5] 

 S300D设备贡献 未单独披露，但为制程设备核心产品，预计贡献主要部分 

 订单增长趋势 2026年一季度订单19.77亿元，达全年目标40%，增长强劲[9][16] 

结论：至纯科技S300D设备覆盖14纳米制程，是公司2026年制程设备订单增长的核心驱动力。虽然公司未单独披露S300D设备的订单量，但其在8亿至12亿元的制程设备目标中占据主导地位，且2026年一季度订单已实现高增长，表明该设备正从验证阶段迈向规模化交付，增量订单预期明确。

风险提示：以上分析基于公开资讯与历史数据，仅供参考，不构成投资建议。市场有风险，投资需谨慎，建议结合自身风险承受能力，理性决策。

参考：

[1] 至纯科技：公司始终高度重视研发创新 | 证券日报 | 2026-06-03 20:49:00 (资讯) (http://www.zqrb.cn/gscy/ggkx/2026-06-03/A1780473132803.html)

[2] 至纯科技2025年业绩承压，2026年新增订单目标将翻倍至45-55亿元 | 千龙网 | 2026-04-30 22:00:32 (资讯) (https://china.qianlong.com/2026/0430/8662371.shtml)

[3] 至纯科技:关于2026年度“提质增效重回报”行动方案的公告 | 2026-04-30 00:20:28 (公告) (https://pdf.dfcfw.com/pdf/H2_AN202604291821771666_1.pdf?t=1781611789188)

[4] 至纯科技:2025年8-10月投资者关系活动纪要 | 2025-11-13 15:32:06 (公告) (https://pdf.dfcfw.com/pdf/H2_AN202511131780554536_1.docx?t=1781611789188)

[5] 至纯科技(603690.SH)：2026年度新增订单目标为45至55亿元-财经-金融界 | 金融界 | 2026-05-13 15:53:50 (资讯) (https://finance.jrj.com.cn/2026/05/13155357082791.shtml)

[6] 至纯科技：最新研发的S300D设备支持12英寸晶圆制造 - 今日头条Loading. | 今日头条 | 2026-06-12 16:07:00 (资讯) (https://www.toutiao.com/article/7650417465297551878)

[7] 至纯科技：专注湿法设备迭代，S300D可覆盖14纳米及以下_公司_向至纯_工艺 | 搜狐 | 2026-06-03 16:14:00 (资讯) (https://www.sohu.com/a/1031653615_114984)

[8] 至纯科技：中国唯一高温硫酸SPM量产，双技术壁垒领跑半导体清洗 | 一林视野 | 2026-05-17 17:13:00 (资讯) (https://mp.weixin.qq.com/s/vF6paDVWz2UbNMqYN4RLwg)

[9] 至纯科技股票最新消息，涨势与价值深度解读！ | 玲儿baby | 2026-05-15 09:29:00 (资讯) (https://mp.weixin.qq.com/s/SUfa6MtUgkQFknC19TESvw)

[10] 至纯科技：S300D覆盖14纳米及以下，推进三位一体战略|s300_网易订阅 | 网易 | 2026-06-12 16:27:10 (资讯) (https://www.163.com/dy/article/KV83EPSV0519QIKK.html)

[11] 至纯科技：公司湿法设备产品已开发四大技术平台，覆盖湿法几乎全部工艺节点 | 同花顺 | 2026-06-12 15:57:02 (资讯) (http://yuanchuang.10jqka.com.cn/20260612/c677420782.shtml)

[12] 至纯科技：大股东回购至微半导体少数股东股权|上市公司|公司控股子公司_网易订阅 | 网易 | 2026-06-03 17:41:40 (资讯) (https://www.163.com/dy/article/KUH24O4I051984TV.html)

[13] 至纯科技：大股东回购至微半导体少数股东股权_对公司_设备_工艺 | 搜狐 | 2026-06-03 17:30:00 (资讯) (https://www.sohu.com/a/1031685085_122121789)

[14] 至纯科技：公司最新研发的S300D设备 支持12英寸晶圆制造 可覆盖至14纳米及以下制程|s300d设备_网易订阅 | 网易 | 2026-06-03 17:01:03 (资讯) (https://www.163.com/dy/article/KUGVQBTH0519QIKK.html)

[15] 至纯科技(603690.SH)的营业收入、营业收入同比增长率等 (行情数据)

[16] 至纯科技(603690.SH)业务数据(2026-03-31) (行情数据)

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[24] 至纯科技：硬核半导体设备商何时翻身破“亏损+高应收”残局? - 今日头条Loading. | 今日头条 | 2026-05-21 12:19:00 (资讯) (https://www.toutiao.com/article/7642021015547101739)

[25] 至纯科技股票最新消息，一季度业绩怎么样？目标价是多少？ | 暖央 | 2026-05-21 08:23:00 (资讯) (https://mp.weixin.qq.com/s/_hH6r76iqezuZr5habJqEQ)

[26] 至纯科技业绩持续恶化，去年亏损激增5倍 | 腾讯网 | 2026-05-04 22:01:00 (资讯) (https://new.qq.com/rain/a/20260504A072Q600)

[27] 至纯科技2026年目标新增订单45-55亿，聚焦主业提质增效 | 爱集微 | 2026-05-03 00:00:00 (资讯) (https://m.laoyaoba.com/n/1031170)