多氟多电子气体供应产品有:
1. 高纯硅烷(SiH₄)
达到6N+超高纯级别,现有产能4000吨/年,新增5000吨/年产能预计2026年投产,是国内少数同时进入半导体、显示面板、光伏行业的硅烷供应商,稳定供货台积电、京东方等头部客户。
2. 高纯四氟化硅(SiF₄)
纯度达6N级,为国内少数实现规模化量产的企业,现有300吨/年产能满负荷运行;新增5000吨/年产能2026年落地,主要用于半导体干法刻蚀、高端光纤制造。
3. 六氟化钨(WF₆)
5N级产品已通过中芯国际、长江存储认证,现有1200吨/年产能,2026年Q3开启小批量供货;6N级处于客户验证阶段,远期规划总产能3000吨/年,用于芯片CVD工艺沉积钨塞与金属连线。
4. 氟氮混合气
已实现量产,配套供应国内多家晶圆厂,规划扩产至800吨/年半导体级产能。
5. 高纯氢气、高纯氮气
作为配套辅助高纯气体,协同主产品供应下游客户。
二、在建/客户认证阶段品类
1. 超高纯笑气(一氧化二氮)
为子公司浙江中宁硅业核心布局品类,超高纯等级产线预计2026年三季度投产。
2. 高纯乙硅烷
产线已建成,正处于下游晶圆厂客户认证环节。
3. 三氟化硼(硼同位素系列)
包含富集硼-10、硼-11的三氟化硼气体,依托自主硼同位素生产线布局,用于半导体中子掺杂等场景。
三、规划储备品类
子公司中宁硅业还规划了甲基硅烷、三甲基硅烷、电子级六氟乙烷、电子级八氟环丁烷、电子级三氯化硼等特种气体,持续完善产品矩阵
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