$国林科技(SZ300786)$  臭氧在玻璃基板清洗方面作用

精密表面清洁与改 性 (Surface Cleaning & Modification):

·痛点：玻璃基板、ITO电极等表面微量的有机污染物、颗粒残留，会严重影响后续薄膜沉积、贴合等工艺的质量和良率。

．臭氧方案： 臭氧能有效氧化去除表面有机物污染（如油脂、残留光阻剂）。同时，它还能改变玻璃、金属氧化物等表面的微观特性（如亲水性／疏水性），提升其与光刻胶、PI、OC等材料的浸润性和附着力。无论是干法臭氧气体处理还是臭氧水（DI-O3）清洗，都能提供高效、低损伤的解决方案。