芯上微装荣获多家客户颁发的荣誉：通富微电子股份有限公司“乘势而上奖”盛合晶微半导体有限公司“2025年技术支持奖”及上海易卜半导体有限公司“2025优秀供应商”奖。芯上微装自成立以来，始终致力于为全球客户提供高性能、高可靠性、国产化替代的核心光刻解决方案，业务覆盖集成电路前道、集成电路先进封装、化合物半导体器件及显示面板制造领域。主要产品包括先进封装光刻机、化合物半导体光刻机、激光退火设备、套刻量测设备、缺陷检测设备、晶圆键合设备以及温控设备等。公司研发团队涵盖光学、光电、机械、控制、软件与半导体工艺等方向，掌握多项核心专利技术，并在投影物镜、精密运动台及曝光系统等领域实现了关键技术的自主研发与突破。
张江浩成持有上海微电子装备（集团）10.779%的股权：1月13日上海东墅投资发展有限公司完成工商变更，上海微电子装备（集团）股份有限公司正式退出股东行列，上海芯上微装科技股份有限公司以全资股东身份入局，认缴出资额达2.52亿元。这是不到一个月内，芯上微装第二次接手上海微电子旗下资产，此前其曾以2.285亿元收购上海威耀实业有限公司。目前张江高科通过子公司持有芯上微装约14.2%的股份，成为芯上微装第三大股东。张江高科的入驻，不仅为芯上微装提供了资金支持，更带来了产业链资源优势。芯上微装如此运作，核心目的在于完善自身资产体系，可能在为后续市场化运作和资本布局铺路。
张江高科100%上海张江浩成创业投资38.4615%上海张江成为兴庐创业投资合伙企业（有限合伙）
上海张江成为兴庐创业投资合伙企业（有限合伙）19.9815%合肥皓宇芯光科技有限公司
皓宇芯光首席科学家张晓世博士目前以项目负责人承担国家重点研发十四五揭榜挂帅项目“高功率、高性能极紫外飞秒激光技术”2007年起任职于KMLabs公司（全球首台极紫外飞秒激光器研发商）担任极紫外激光技术经理、研发首席科学家，带领团队实现该技术商业化，产品被Intel、三星、华为等全球顶尖半导体企业采用，创造上亿美元产值《中国激光》《基于高次谐波的13.5nm极紫外光源》，系统展示了我国在该领域的最新进展，解决了高重复频率、高稳定性、高功率输出的技术瓶颈，为先进光刻芯片量产提供了国产光源解决方案
上海电气控股集团有限公司32.0863%上海微电子装备（集团）股份有限公司
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