$张江高科(SH600895)$  核心技术100％自主可控！国产350nm步进光刻机拿下批量订单6ma7nkps79ao46j

积极 订单交易

腾讯科技

1小时前

国产光刻机厂商上海芯上微装科技股份有限公司官方宣布，该公司自主研发的350nm步进投影光刻机“AST6200”，凭借卓越的性能、稳定的表现，快速、顺利通过了国内化合物半导体领域头部客户的工艺验证，并斩获批量复购订单。芯上微装是上海微电子装备(集团)股份有限公司分拆出来的独立公司，拟募资独立IPO上市，在光学系统设计、精密运动控制、半导体工艺领域拥有深厚的积淀。2025年11月25日，芯上微装的首台AST6200光刻机正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场，标志着我国在化合物半导体与先进封装光刻设备领域再次实现关键突破。该光刻机核心技术与软件系统100％自主可控，可广泛应用于功率器件、射频前端、光电子芯片、Micro LED新型显示等化合物半导体先进制造场景，解决了多项行业痛点。