北京屹唐半导体科技股份有限公司(简称“屹唐股份”,股票代码:688729)是一家总部位于北京,面向全球研发、生产、销售集成电路制造设备及配套工艺解决方案,全球化运营的中国半导体设备公司。

屹唐股份为全球半导体芯片制造厂商提供干法去胶、干法刻蚀、表面处理、快速热处理、毫秒级快速退火等设备及应用方案,其中干法去胶、快速热处理、毫秒级快速退火设备在各自细分领域的市场份额均处于世界前列。公司产品已全面覆盖全球前十及国内领先的芯片制造厂商。(数据来源Gartner)

     屹唐股份将持续保持全球化的竞争力,面向前沿技术节点和中国客户聚焦的特色工艺的工艺应用不断推出新产品。为中国和全球的芯片制造厂商提供优质的产品和服务,成为国内外集成电路芯片制造客户长期的、可靠的合作伙伴


 2025年10月15日屹唐股份在深圳会展中心举办的 2025 湾区半导体产业生态博览会(湾芯展) 亮相。本届展会汇聚全球 600 余家企业,聚焦晶圆制造、先进封装、化合物半导体、芯片设计等领域,是半导体产业年度盛会。

     作为专注于半导体关键设备与系统解决方案的企业,屹唐股份拥有等离子去胶设备、等离子刻蚀设备及快速热退火设备,并在全球各大逻辑、存储等芯片厂商广泛应用。此次展会屹唐股份携等离子刻蚀设备和毫秒级退火设备在展台特别展出。

     RENA-E系列等离子体刻蚀设备以独特的电感耦合等离子技术为核心,实现快速介质刻蚀,兼具高刻蚀速率与低器件等离子体损伤。其灵活控制离子能量的能力,有效提升了刻蚀效率并保护器件质量。同时,利用电感耦合特性,解决了传统电容耦合刻蚀中的副产物沉积问题,延长了腔室部件寿命,显著提升平均维护间隔时间,降低了运维成本。这些技术优势使 RENA-E成为极具竞争力的大规模量产电感耦合等离子体PAD刻蚀设备。

     毫秒级退火设备,搭载高功率水壁氩气弧光灯技术,实现毫秒级快速升温,并支持T-50时间精准可调,确保热预算精确控制。其独特的晶圆反射率补偿与实时监控技术,结合可调脉冲持续时间和尖峰退火功能,为超浅结、High k钝化等逻辑和存储器制造提供卓越工艺应用。在关键的工艺节点,有效抑制短沟道效应,降低面电阻与结漏电流,引领半导体制造工艺新突破

     屹唐股份吸引了来自市领导、晶圆制造、设计公司、设备与材料供应商众多嘉宾。深入探讨了全球半导体产业链协同创新与中国市场机遇。通过此次参展,屹唐股份不仅展示了企业的技术实力和产品优势,也进一步彰显了公司在推动国内半导体装备自主化和产业链完善方面的责任与担当。


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