微导纳米首台百兆瓦钙钛矿ALD设备顺利出货

近日，江苏微导纳米科技股份有限公司（688147.SH，简称“微导纳米”）自主研发的首台大面积百兆瓦钙钛矿电池生产专用量产型原子层沉积（ALD）设备发货至行业头部客户，实现在大面积玻璃基底钙钛矿的技术应用，完成公司在钙钛矿电池领域的又一块产业化拼图，标志着该类型钙钛矿电池技术专用ALD设备正式进入产业化验证阶段。

微导纳米充分发挥自身在工艺、材料开发上的技术优势，深入研究钙钛矿电池应用场景以及前后道制程对工艺的影响，开发适合钙钛矿电池工艺的工艺膜层以及设备解决方案。本次提供的专用量产型ALD设备，主要应用于钙钛矿电池SnO2薄膜的制备。该设备克服了此镀膜工艺需要的低温、无损、大面积均匀制备等工艺难点，创新设计大面积ALD反应腔体，实现了钙钛矿产业化工艺节拍要求；重点优化的流场设计和前驱体区隔系统，满足了钙钛矿电池量产所需的膜厚均匀性等多项技术指标要求。同时，在整线集成和量产性上，微导纳米结合多年的产业化实践，在产品设计的同时考量工艺维护场景，设备可实现简单高效、低成本运行，满足客户自动化订制的需求。

目前，微导纳米已投入研发并推出多款适用于钙钛矿不同技术路线的专用薄膜设备平台，全面覆盖晶硅钙钛矿叠层路线、大面积玻璃基底钙钛矿路线和纯柔性钙钛矿三条主流技术路线，可提供包含Al2O3、SnO2、NiOX、ITO、C60和高水氧阻隔等不同膜层的产业化量产装备。微导纳米所具备的真空镀膜装备和工艺开发的核心优势，将极大提高客户的技术能力和盈利能力，赋能稳定、安全、高效生产。

未来，公司将继续以客户需求为导向,紧跟行业发展趋势,在钙钛矿细分领域奋勇发力，为客户提供极致的产品力、优越体验感和超预期的价值收益。

文章转自微导纳米官方微信公众号