2024年4月8-11日,一年一度化合物半导体行业盛会——2024九峰山论坛暨中国国际化合物半导体产业博览会(简称“JFSC&CSE”)将在武汉光谷科技会展中心举办。 


Axcelis将携新品技术方案亮相本届盛会,诚邀业界同仁莅临A112号展台参观、交流合作。


Welcome!

JFSC&CSE 2024

尊敬的业界同仁:您好!

 

       Axcelis诚挚邀请您参加4月9日-11日湖北武汉光谷科技会展中心举办的“2024九峰山论坛暨中国国际化合物半导体产业博览会”,公司将携核心产品及最新解决方案,在A112号展台恭候各界朋友光临参观、洽谈。

       4月9日,武汉光谷,不见不散!

关于Axcelis

Axcelis has been providing innovative, high-productivity solutions for the semiconductor industry for over 45 years. Axcelis is dedicated to developing enabling process applications through the design, manufacture and complete life cycle support of ion implantation systems, one of the most critical and enabling steps in the IC manufacturing process. Learn more about Axcelis at www.axcelis.com.

45年以来, Axcelis一直在为半导体行业提供高产能,创新型的解决方案。Axcelis致力于通过设计、制造离子注入系统并提供产品生命周期的全程支持来推动离子注入相关制程,这是集成电路制造众最关键的赋能步骤之一。想要了解更多,请点击:www.axcelis.com.

部分产品介绍

1)Purion XE Series

Purion XE系列单片式高能离子注入平台结合了RF线性加速器(LINAC)的制程和生产力优势,且具有Purion平台的可靠性、高精准度及工艺灵活性。Purion XE系列的基础产品是Purion XE,还包括能量范围更广的Purion EXE、Purion VXE和Purion XEmax。此外,还提供适用于功率器件市场的Purion XE和Purion EXE Power系列。

2)Purion H Series

Purion H系列是Axcelis先进的单片式大束流离子注入平台。Purion H采用增强型点状离子束扫描技术,开创了旨在提升良率的离子注入技术新时代。Purion H为客户提供了前所未有的工艺控制水平,以应对转换成3D器件的新挑战。

3)Purion M Series

Purion M是唯一适用于中、低剂量所有沟道工艺应用的中束流离子注入平台。该平台可提升单片晶圆产能,涵盖了传统中束流工艺、量中剂量HALO离子注入和亚兆电子伏特阱区注入新兴工艺。Purion M是Purion Power Series的最初产品成员。

值此之际,我们诚邀业界同仁共聚本届盛会,

莅临展位现场参观交流、洽谈合作。

关于JFSC&CSE 2024

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