$至纯科技(SH603690)$  

  证券之星消息,根据企查查数据显示至纯科技(603690)新获得一项发明专利授权,专利名为“双层式兆声波清洗系统”,专利申请号为CN202111658773.5,授权日为2024年4月12日。

  专利摘要:本发明涉及一种双层式兆声波清洗系统,包括底座、超声波信号发生装置、浴槽、用以晶圆清洗的清洗槽,超声波信号发生装置安装在底座上,底座为可动底座,底座运动改变超声波信号发生装置相对清洗槽发射声波的方向;浴槽安装在超声波信号发生装置上端,浴槽内盛装有声波传导介质;清洗槽安装在浴槽上方,清洗槽的底部浸入浴槽内的声波传导介质中,清洗槽中盛装有清洗液。本发明通过底座的运动改变超声波信号发生装置的声波方向,改变晶圆片在声波方向的投影面积,进而提升清洗效果和效率,同时,声波方向的改变在清洗槽的底部产生压差,使得聚集在清洗槽底部的气泡消除,减少了超声波的能量损失,提升清洗效果。

  今年以来至纯科技新获得专利授权8个,较去年同期减少了50%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了9939.58万元,同比增67.83%。

你发明你二大爷,股价都不涨还滴滴不休有球用!!!

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