国产之光~茂莱光学

$茂莱光学(SH688502)$  茂莱光学作为精密光学综合解决方案提供商，其产品之一是半导体透镜，这是EUV光刻机中的一个重要组成部分。EUV光刻机是集成电路产业的关键设备，而茂莱光学的半导体透镜是构成EUV光刻机10万个零件中最重要的三个环节之一。此外，茂莱光学还为光刻机技术国产化贡献力量，其研发的超精密物镜系统用光学器件已实现搭载在i-line光刻机上，尽管与蔡司供给ASML的EUV光学物镜系统相比在某些技术指标上还有差距，但已经取得了关键的进展。茂莱光学还成功进入了上海微电子的供应体系，实现了光刻机核心光学器件的部分国产替代。

茂莱光学的产品确实有用于EUV光刻机。茂莱光学作为工业级精密光学的领先企业，其产品在多个领域都有广泛应用，包括半导体、生命科学、AR/VR、航空航天等。在半导体领域，茂莱光学为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件，这些都是光刻机实现光线均匀性与曝光成像的关键模块。

值得注意的是，EUV光刻机作为半导体制造中的高端设备，对光学元件的精度要求极高。茂莱光学凭借其精密光学镀膜、高面形超光滑抛光、高精度光学胶合、光学镜头及系统设计、低应力高精度装配等五大核心技术，成功研发出满足EUV光刻机要求的高精度光学产品。这些产品不仅提升了光刻机的性能，也推动了我国光刻机国产化的进程。

此外，茂莱光学还积极拓展其他领域的应用，如生命科学领域的基因测序仪高通量光机引擎、航空航天领域的卫星和航天器用 光学镜头等。这些产品的成功研发和应用，进一步巩固了茂莱光学在精密光学领域的领先地位。$阿斯麦(NASDAQ|ASML)$