石英股份是一家主要从事石英材料研发、生产和销售的公司,其产品在半导体行业中有广泛的应用。石英材料在半导体制造过程中主要用作坩埚、管材、舟皿等关键部件,因为它们具有耐高温、化学稳定性强和高纯度等特性。以下是石英股份可能涉及的一些半导体材料和产品:

  1. 石英坩埚:用于生长单晶硅的设备中,是半导体硅片生产的关键耗材。
  2. 石英管:用于半导体加工设备中的反应腔体,如扩散炉、CVD(化学气相沉积)设备等。
  3. 石英舟:用于承载硅片进行热处理工艺,如氧化、扩散等。
  4. 石英盖板:用于保护半导体晶圆在加工过程中的清洁环境。
  5. 石英棒和石英环:用于支撑和定位晶圆,以及在某些工艺中作为加热元件。
  6. 高纯度石英砂:是制造上述石英制品的基本原料,对纯度要求极高。

这些产品都是半导体制造过程中不可或缺的部分,确保了工艺的精确性和产品的质量


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