拜登政府限制东京电子Tel对华供应半导体设备,其中影响最大的是涂胶显影设备,国产替代涂胶显影相关企业:
【$芯源微(SH688037)$】:公司主要从事半导体设备研发和销售,其产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机),可用于6英寸及以下单晶圆处理(如LED芯片制造环节)及8/12英寸单晶圆处理(如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节)。
【$至正股份(SH603991)$】:收购苏州桔云51%股权,子公司苏州桔云主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售,能提供半导体湿法工艺流程所需的大部分设备,主要产品包括清洗设备、腐蚀设备、涂胶显影设备、去胶设备、烘箱设备、分片设备等。
【$固高科技(SZ301510)$】:公司产品在刻蚀、沉积、清洗等半导体前道加工设备中已形成订单,并积极开发如光刻机、机械抛光、涂胶显影等晶圆制造先进制程控制系统。
【富乐德】:公司可为光刻环节的溶胶显影、涂胶等设备提供精密洗净服务。
【百敖化学】:拟向成熟芯慧联增资不超过人民币7亿元,成为第一大股东,成熟芯慧联业务以半导体设备为主,包括但不限于涂胶显影设备、湿法清洗设备、湿法电镀设备、自动化设备等
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